МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники Техносфера 978-5-94836-521-3, Акчурин Р. Х., Мармалюк А. А
Цена: 1091 710 руб.
Категория: Книги, Научная и научно-популярная литература, Прикладные науки. Техника, Материаловедение. Нанотехнологии
| Цены на книгу в магазинах: | ||
 | My-shop.ru | - 710 руб. 0% |
| Лабиринт | - 818 руб. 0% |
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэ- лектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Издательство: Техносфера
ISBN: 978-5-94836-521-3
Штрих-код: 9785948365213
Цвет: Белый
Объем: 488
Ширина: 170 мм
Длина: 240 мм
Высота: 25 мм
Серия: Мир материалов и технологий
Автор: Акчурин Р. Х., Мармалюк А. А.
Год: 2020
Вес: 754 г
Группа: Книги
Обложка: твердый переплёт
vat: VAT_10
подробнее...
ISBN: 978-5-94836-521-3
Штрих-код: 9785948365213
Цвет: Белый
Объем: 488
Ширина: 170 мм
Длина: 240 мм
Высота: 25 мм
Серия: Мир материалов и технологий
Автор: Акчурин Р. Х., Мармалюк А. А.
Год: 2020
Вес: 754 г
Группа: Книги
Обложка: твердый переплёт
vat: VAT_10
подробнее...
Комментарии, отзывы о "МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники":
Добавить первый отзыв ...
Посетители интересовались:
