Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Высшее образование 978-5-9692-0304-4, Гаврилов Сергей Александрович, Белов Алексей Николаевич
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)", а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Издательство: Высшее образование
ISBN: 978-5-9692-0304-4
Серия: Основы наук
Автор: Гаврилов Сергей Александрович, Белов Алексей Николаевич
Год: 2009
Возрастное ограничение: 0
Категория: Химические науки
подробнее...
ISBN: 978-5-9692-0304-4
Серия: Основы наук
Автор: Гаврилов Сергей Александрович, Белов Алексей Николаевич
Год: 2009
Возрастное ограничение: 0
Категория: Химические науки
подробнее...
Комментарии, отзывы о "Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники":
Добавить первый отзыв ...
Посетители интересовались: