Технологии микроэлектроники Химическое осаждение из газовой фазы Техносфера 5-94836-039-3, Александр Столяров,В. В. Киреев
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов...
Издательство: Техносфера
ISBN: 5-94836-039-3, 5948360393, 978-5-94836-039-3, 9785948360393
Объем: 192
Автор: Александр Столяров, В. В. Киреев
Формат: твердая обложка
Год: 2006
Электронная: Нет
подробнее...
ISBN: 5-94836-039-3, 5948360393, 978-5-94836-039-3, 9785948360393
Объем: 192
Автор: Александр Столяров, В. В. Киреев
Формат: твердая обложка
Год: 2006
Электронная: Нет
подробнее...
Комментарии, отзывы о "Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы":
Добавить первый отзыв ...
Посетители интересовались:
