Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях Учебное пособие Бином 978-5-9963-0032-7
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических...
Издательство: Бином
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Объем: 283
Серия: Нанотехнологии
Формат: твердая обложка
Год: 2014
Электронная: Нет
подробнее...
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Объем: 283
Серия: Нанотехнологии
Формат: твердая обложка
Год: 2014
Электронная: Нет
подробнее...
Комментарии, отзывы о "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие":
Добавить первый отзыв ...
Посетители интересовались: