Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях Учебное пособие Лаборатория знаний 978-5-9963-0032-7, Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович

Цена: 823 руб.

Цены на книгу в магазинах:
	books.ru	- 553 руб. 0%
	Лабиринт	- 823 руб. 0%

Категория: Электротехника. Электроника

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.