Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий 2 томах Том Технологические аспекты Просвещение/Бином 978-5-9963-0336-6
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий
при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.
Издательство: Просвещение/Бином
ISBN: 978-5-9963-0336-6
Год: 2014
Возрастное ограничение: 0
Категория: Электротехника. Электроника
подробнее...
ISBN: 978-5-9963-0336-6
Год: 2014
Возрастное ограничение: 0
Категория: Электротехника. Электроника
подробнее...
Комментарии, отзывы о "Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2 томах. Том 2. Технологические аспекты":
Добавить первый отзыв ...
Посетители интересовались:
