Технология конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем Часть 2 Просвещение/Бином 978-5-94774-585-6, Королев Михаил Александрович, Крупкина Татьяна Юрьевна, Путря Михаил Георгиевич, Шевяков Василий Иванович

Цена: 483 руб.

Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала
введение примесей в кремний
выращивание окисла кремния и его охлаждение
литография
создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.